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本系列具有纳米级定位分辨率的高速，可多轴，精密纳米定位系统。 提供最大的多功能性，可以配置XY/XZ或XYZ运动。
紧凑的尺寸，非常易于集成到任何扫描仪器中。超低的噪声特性和高谐振频率使其非常适合要求噪声水平低的高速性能的计量应用。
压电平台内部使用无摩擦及空回的柔性铰链导向机构，采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有超高的导向精度，且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点，压电位移台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，确保了位移台具有极佳的运动控制精度，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。
压电纳米定位台为无磁材质，使用过程中不产生磁场同时也不受磁场的影响。压电扫描台特点体积小、结构紧凑、易于集成。
产品特性
—高速直接驱动
—紧凑型超小体积设计
—SGS闭环控制
—可堆叠XY/XZ/XYZ运动
选配功能
—可定制转接装置
—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度
—可选配闭环(SGS) 位置反馈系
—定制其他材质
应用领域
—原子力显微镜、扫描探针显微镜
—高速、高分辨率定位
—扫描、筛选
—表面分析、计量学
